Séparateur de faisceaux en silicium conçu par métamatériaux et fabriqué par lithographie par immersion dans l'UV profonde
Les métamatériaux à réseau sub-longueur d'onde (SWG) ont suscité un grand intérêt pour leur capacité singulière à façonner les propriétés du matériau et la propagation de la lumière, permettant la réalisation de dispositifs aux performances sans précédent. Cependant, les …
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